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無(wú)塵室主要是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成的
瀏覽次數(shù):2917發(fā)布日期:2022-03-15
  無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
 

 

  無(wú)塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無(wú)塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
 
  無(wú)塵室構(gòu)成:
  無(wú)塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成,在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的,否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室:
  1、天花板系統(tǒng):包括吊桿、綱)、天花板格子梁;
  2、空調(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等;
  3、隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門;
  4、地板:包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面;
  5、照明器具:包括日光燈、黃色燈管等;
  6、無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無(wú)論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:
 ?、佟⒉粫?huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;
 ?、凇⒉灰桩a(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;
 ?、?、吸濕性小;
 ?、?、為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高。
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